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徠卡大型自動(dòng)型半導(dǎo)體檢查顯微鏡DM12000M全新的光學(xué)設(shè)計(jì),可以提供宏觀模式快速初檢,以及傾斜紫外光路功能(OUV, 傾斜紫外觀察模式) 不單提升了分辨率還提高了檢查12英寸(300毫米)硅片的產(chǎn)能。
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該機(jī)照明 基于新的 LED 科技 ，一體化整合在顯微鏡機(jī)身上。 低熱輻射效應(yīng)和一體化內(nèi)置技術(shù)確保了顯微鏡四周空間具有 理想化的空氣環(huán)流。 LED的超長使用壽命和低能耗特性大大降低了用戶 今后的使用成本.。
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